piezosystem jena 超精密压电纳米定位系统。显微镜探针对准应用通常需要中心通光孔供光路通过。TRITOR 101、102 三维压电平台专门针对该场景开发，分别配备30 mm、40 mm 中心通孔。平台兼具高刚度与优异运动直线度，可实现纳米级高精度定位，适配光学实验、晶圆检测、光纤对准、激光加工以及各类高分辨率定位场景。

产品介绍
piezosystem jena 超精密压电纳米定位系统

piezosystem jena｜超精密压电纳米定位系统

TRITOR 101 与 TRITOR 102 是结构高度紧凑的三维纳米定位解决方案，X/Y/Z 三轴运动行程最高可达 100 μm。独特的立方体无间隙机械结构，实现无回差运动，广泛适用于光学科研设备，也可直接集成于 OEM 成套系统。

显微镜探针对准应用通常需要中心通光孔供光路通过。TRITOR 101、102 三维压电平台专门针对该场景开发，分别配备30 mm、40 mm 中心通孔。平台兼具高刚度与优异运动直线度，可实现纳米级高精度定位，适配光学实验、晶圆检测、光纤对准、激光加工以及各类高分辨率定位场景。

产品版本

标准开环版本

应变片传感器版本（SG）

电容传感器版本（CAP）

配套推荐控制器

NV40/3*、E‑101‑20

*：适配开环系统；闭环应用建议选用 NV40/3 CLE

典型应用领域

AFM 原子力显微镜、SFM 扫描力显微镜

微操作精密作业

微悬臂调节校准

晶圆检测

光纤对准耦合

TRITOR 101 技术参数

表格

参数单位TRITOR 101（标准）TRITOR 101 SG（应变片）TRITOR 101 CAP（电容传感器，带螺纹）

产品编号-T‑404‑00T‑404‑01T‑404‑06

运动轴-X / Y / ZX / Y / ZX / Y / Z

开环行程 (典型值 ±20%)*μm100100100

闭环行程 (典型值 ±0.2%)*μm—8080

单轴电容 (±20%)**µF1.71.71.7

内置测量系统-无应变片电容传感器

分辨率 ***nm0.221

典型重复定位精度nm—±8±5

最大非线性误差µm—0.020.01

空载谐振频率 X/Y/ZHz420 / 410 / 360420 / 410 / 360420 / 410 / 360

带 100g 负载谐振频率 X/Y/ZHz320 / 310 / 290320 / 310 / 290320 / 310 / 290

刚度 X/Y/ZN/µm1 / 1 / 11 / 1 / 11 / 1 / 1

最大输出推 / 拉力 X/Y/ZN10 / 10 / 10（拉）；100 / 100 / 100（推）10 / 10 / 10；100 / 100 / 10010 / 10 / 10；100 / 100 / 100

驱动电压V-20 … +130-20 … +130-20 … +130

线缆长度m1.01.21.6

材质-不锈钢 / 铝合金不锈钢 / 铝合金不锈钢 / 铝合金

外形尺寸 (长 × 宽 × 高)mm68 × 68 × 3068 × 68 × 3080.5 × 80.5 × 30

重量g480570650

中心通孔直径mm303030

* 使用 NV40/3 控制器测得典型值；** 弱电场条件典型值；*** 分辨率受控制器与测量系统噪声限制；**** 可提供最大 M32 规格螺纹接口；如需其他定制版本，请联系销售。

TRITOR 102 技术参数

表格

参数单位TRITOR 102（标准）TRITOR 102 SG（应变片）TRITOR 102 CAP（电容传感器，带螺纹）

产品编号-T‑405‑00T‑405‑01T‑405‑06 / T‑405‑06D‑CT

运动轴-X / Y / ZX / Y / ZX / Y / Z

开环行程 (典型值 ±20%)*μm100100100

闭环行程 (典型值 ±0.2%)*μm—8080

单轴电容 (±20%)**µF1.71.71.7

内置测量系统-无应变片电容传感器

分辨率 ***nm0.221

典型重复定位精度nm—±8±5

最大非线性误差µm—0.020.01

空载谐振频率 X/Y/ZHz330 / 320 / 210330 / 320 / 210330 / 320 / 210

带 100g 负载谐振频率 X/Y/ZHz280 / 270 / 190280 / 270 / 190280 / 270 / 190

刚度 X/Y/ZN/µm1 / 1 / 11 / 1 / 11 / 1 / 1

最大输出推 / 拉力 X/Y/ZN10 / 10 / 10（拉）；100 / 100 / 100（推）10 / 10 / 10；100 / 100 / 10010 / 10 / 10；100 / 100 / 100

驱动电压V-20 … +130-20 … +130-20 … +130

线缆长度m1.01.21.6

材质-不锈钢 / 铝合金不锈钢 / 铝合金不锈钢 / 铝合金

外形尺寸 (长 × 宽 × 高)mm80 × 80 × 3080 × 80 × 3080 × 80 × 30

重量g520610700

中心通孔直径mm404040

* 使用 NV40/3 控制器测得典型值；** 弱电场条件典型值；*** 分辨率受控制器与测量系统噪声限制；**** 可提供最大 M32 规格螺纹接口；如需其他定制版本，请联系销售。

接头版本选型表

表格

产品名称说明特殊配置型号后缀

TRITOR 101 Digital适配 d‑Drive、NV40/3 控制器；支持互换性、ASI 功能Sub‑D 15 接头T‑404‑00 D

TRITOR 101 SG Digital同上T‑404‑01 D

TRITOR 101 CAP Digital同上T‑404‑06 D

TRITOR 102 Digital同上T‑405‑00 D

TRITOR 102 SG Digital同上T‑405‑01 D

TRITOR 102 CAP Digital同上T‑405‑06 D

TRITOR 101 SG Extern

TRITOR 102 SG Extern

TRITOR 101 CAP Extern

TRITOR 102 CAP Extern外置传感器前置放大器版本，支持互换性、ASI 功能供电插头：LEMO 0S.302

应变片传感器：ODU 4 芯

电容传感器：LEMO 0S.650T‑404‑01 E

T‑405‑01 E

T‑404‑06 E

T‑405‑06 E

TRITOR 101

TRITOR 101 SG

TRITOR 101 CAP

TRITOR 102

TRITOR 102 SG

TRITOR 102 CAP适配 ENV、30V300 OEM、12V40 OEM 系列压电控制器供电：LEMO 0S.302

SG 传感器：LEMO 0S.304

CAP 传感器：LEMO 0S.650T‑404‑00

T‑404‑01

T‑404‑06

T‑405‑00

T‑405‑01

T‑405‑06

piezosystem jena 超精密压电纳米定位系统

piezosystem jena 成立于 1991 年，是压电微 / 纳米定位与计量解决方案供应商，产品广泛服务于半导体、航空航天、显微科学、同步加速器等前沿领域Piezosyste...。

公司在压电技术纳米定位应用、压电陶瓷柔性铰链平台设计、压电机械系统开发领域，积累了深厚的技术底蕴与丰富项目实践经验，可为科研机构及工业 OEM 客户提供成熟、高可靠性的整套压电精密运动解决方案Piezosyste...。

压电陶瓷核心优势特性

压电陶瓷是精密定位的核心元件，具备多项突出性能：

近乎无限运动分辨率，可达亚纳米（sub‑nm）级别

可输出数千牛的压缩力

运动无机械间隙、无回差

响应速度极快

运行无机械磨损，使用寿命长

支持真空环境工况

可适配低温应用场景

品牌核心竞争力

piezosystem jena 的核心优势，源自始终以充分满足客户需求为服务宗旨。在超分辨显微镜、原子力显微镜 AFM、过程控制、半导体计量、同步辐射纳米定位等项目中，与客户建立长期互惠的合作伙伴关系，兼顾标准化产品交付与定制化方案开发。

主要应用行业

航空航天、半导体制造、光子光学、材料测试、前沿科研仪器等。

主要产品系列

运动控制系统：纳米定位平台、显微镜物镜定位器、反射镜倾斜系统、压电快门 / 狭缝系统、压电旋转平台、千分尺螺丝定位器、压电夹持器

压电执行器类：密封绝缘执行器、压电执行器、堆栈式执行器、环形执行器、冲击发生器；高压大功率叠堆型压电促动器、高压大功率环型压电促动器、高压大功率压电振动器、高压大功率冲击波发生器

驱动与光学器件：压电控制器、压电放大器、高压压电放大器；光纤定位系统、光纤交换机（FSM 1×2 /1×3 /1×4 /1×6 /1×9）

注：原文存在重复项，已做去重整理。

代表型号清单

MIPOS 100、MIPOS 100 SG、MIPOS 100 PL CAP、MIPOS 250、MIPOS 250 SG、MIPOS 250 CAP、MIPOS 500、MIPOS 500 SG、MIPOS 800、MIPOS 800 SG；

PX 38、PX 38 SG、PX 100、PX 100 SG、PX 200、PX 200 SG、PX 400、PX 400 SG、PX 500、PX 1500；

nanoX 200、nanoX 200 SG、nanoX 200 CAF、nanoX 400、nanoX 400 SG、nanoX 400 CAP；

PZ 38、PZ 38 SG、PZ 38 CAP、PZ 100、PZ 100 SG、PZ 100 CAP、PZ 200、PZ 200 SG、PZ 400、PZ 400 SG、PZ 700；

PXY 16、PXY 16 CAP、PXY 100、PXY 100 SG、PXY 100 CAP、PXY 200、PXY 200 SG；

nanoSxY 400、nanoSXY 400 CAP；

microTRITOR、miniTRITOR、TRITOR 38、TRITOR 38 SG、TRITOR 100、TRITOR 100 SG、TRITOR 100 CAP、TRITOR 101、TRITOR 101 SG、TRITOR 101 CAP、TRITOR 102、TRITOR 102 SG、TRITOR 102 CAP、TRITOR 400、TRITOR 400 SG、TRITOR 400 CAP；

PENTOR、PENTOR SG；

PSH 4/1、PKS 1‑½''、PKS 1‑1''、PSH 10/2、PSH 10/2 SG、PSH 25/2、PSH 25/2 SG、PSH 35/2、PSH 35/2 SG；

MICI 200、MICI 200 SG；

Grippy 3、Grippy 4；

PA 8/14、PA 8/14 SG、PA 25/14、PA 25/14 SG、PA 70/14、PA 70/14 SG、PA 100/14、PA 100/14 SG；

FSM 1x2 光纤交换机、FSM 1x3 光纤交换机、FSM 1x4 光纤交换机、FSM 1x6 光纤交换机、FSM 1x9 光纤交换机等。